Способ и устройство очистки полупроводниковых структур (поиск)

110.00

Артикул: 323 Категория: Метка:

Описание

Способ и устройство очистки полупроводниковых структур от собственных оксидов, пылевых частиц и органических загрязнений. Проведен патентный поиск по рефератам и описаниям изобретений РФ за период 1994 – 2005гг. Проанализировано 196 изобретений, из которых в отчет включено 11 документов. Составлен график патентной активности.

Отзывы

Отзывов пока нет.

Только зарегистрированные клиенты, купившие этот товар, могут публиковать отзывы.