Описание
Способы очистки твердых тел от молекулярных загрязнений. Проведен патентный поиск по России. Ретроспективность поиска 1980 – 2003 гг. Содержит 28 документов.
На фабриках по производству полупроводников микрозагрязнение может стать сложной проблемой Взвешенное в воздухе молекулярное загрязнение приобретает все более высокое значение в процессах производства по мере того, как ужесточаются технические требования, а размер устройств уменьшается. Поиск содержит технические решения для контроля взвешенного в воздухе молекулярного загрязнения для его снижения.
Такие решения обеспечивает защиту на реальных производствах полупроводников, в основном, для нанесения тонких пленок.
Отзывы
Отзывов пока нет.