Способы очистки твердых тел от молекулярных загрязнений (поиск)

500.00 Без НДС, 500.00

Артикул: 2343 Категория: Метка:

Описание

Способы очистки твердых тел от молекулярных загрязнений. Проведен патентный поиск по России. Ретроспективность поиска 1980 – 2003 гг. Содержит 28 документов.

На фабриках по производству полупроводников микрозагрязнение может стать сложной проблемой Взвешенное в воздухе молекулярное загрязнение приобретает все более высокое значение в процессах производства по мере того, как ужесточаются технические требования, а размер устройств уменьшается. Поиск содержит технические решения для контроля взвешенного в воздухе молекулярного загрязнения для его снижения.

Такие решения обеспечивает защиту на реальных производствах полупроводников, в основном, для нанесения тонких пленок.

Отзывы

Отзывов пока нет.

Только зарегистрированные клиенты, купившие данный товар, могут публиковать отзывы.