Описание
Способ и устройство очистки полупроводниковых структур от собственных оксидов, пылевых частиц и органических загрязнений. Проведен патентный поиск по рефератам и описаниям изобретений РФ за период 1994 – 2005гг. Проанализировано 196 изобретений, из которых в отчет включено 11 документов. Составлен график патентной активности.
Отзывы
Отзывов пока нет.